ステッパー用の本露光（メイン露光）の用途で、UVランプからUV-LEDに置き換えすることはできますか？
ステッパー用の本露光の用途では、置き換えは難しいです。周辺露光の場合であれば、UV-LEDを使用することができますが、本露光の場合、現時点ではUV-LEDの仕様が難しいとされています。
周辺露光用途であれば、置き換えが可能ですので、そのようなお困りごとがございましたら、お気軽にご連絡ください。
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