露光装置用UVランプからUV-LED置き換えサービス

露光装置であるコーターデベロッパやステッパーには一般的に、光源としてUVランプ光源が使用されています。UVランプ光源は複数の波長が得られる点や大光量を得やすいという点で使用が進んでいましたが、一方で、常時点灯しておかないといけないため低寿命の傾向にありランニングコストが高くなることや、立ち上がりに時間がかかり作業効率の悪化につながる、水銀を含んでおり環境リスクがある点に懸念があります。

その課題を解決できるが当社のUV-LED光源光源装置です。365nm,405nm等、該当の周波数にて、UVランプ光源で得られていた照射エリアと均一性を持たせるように開発しています。

半導体製造工場、FPD製造工場にて稼働する露光装置において、UVランプ光源からUV-LED光源に置き換えた実績を多くもち、高寿命化によるランニングコストの低減と早期立ち上がりを実現しています。

お客様のご要望にお応えします！

露光装置用UVランプからUV-LED置き換えサービスの
3つの特徴

POINT01

大きな改造なしでUV-LED光源光源に置き換えます！改造コストを抑えてランニングコストを大幅低減！

既存の露光装置にて、制御・メカ的に大きな改造を行わずに、UV-LED光源光源に置き換えることができるように設計・開発します。露光装置の制御仕様とUVランプ光源との連動仕様を考慮し、UV-LED光源光源のコントローラ側にて必要な動作を得られるように制御設計を行うため、制御面での改造は全く必要なく、また、有効スペースに収まるようにUV-LED光源の照射ヘッドを開発するため、メカ的な改造も不要。多くの場合、必要なのはUVファイバーを照射ヘッドに取り換える交換作業のみになります。改造コストを抑えて、UV光源の入れ替え頻度の低減と入れ替えコストの抑制を実現しますので、大幅なコストメリットを生むことが可能です。

POINT02

スポット照射、エリア照射、ライン照射など、最適な照射エリアを得られるように照射ヘッドを開発！

露光装置や対象ワークによって、最適な照射ヘッドは異なります。当社では、スポット照射、エリア照射、ライン照射など、必要となる照射エリアによって照射ヘッドを一から開発いたします。照射ヘッドの開発では、照射エリアだけでなく均一性、光量など多様な要素を考慮する必要がありますが、当社の強みである特注光源製品開発ノウハウを生かし、UVランプ光源で得られていた光成分と同様の出力を実現します。

POINT03

露光テストが可能！持ち込みデモを行います！

半導体においてもFPDにおいても、露光は最重要工程であり、UVランプ光源から他光源の置き換えによる不良発生リスクが懸念されることかと思います。そのため、まずは当社のデモ機にて露光テストを実施させて頂きます。露光テストに関しては、当社に用意してあるデモ機をお客様の工場に持ち込み実施させて頂くことも可能です。「低価格化する半導体において製造コストを低減させたい...」「ランニングコストを大きな初期投資なしで抑制できるのであれば一度テストしたい...」という皆様、お気軽に当社にご相談ください。