半導体製造分野 UV照射装置を見直しコスト低減を実現する
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カタログ
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半導体アライメント用 LS-1-RAL3
＜半導体アライメント用 LS-1-RAL3 カタログ＞ レチクルアライメント用の照明として使用するUV-LED光源 LS-1-RAL3のカタログです。
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ロッド型UVモニター UMRシリーズ
＜ロッド型UVモニター UMRシリーズ カタログ＞ 0.1mW/cm²から9999mW/cm²まで表示可能なUVモニター(UM365-HM)に接続可能なロッド型のセンサヘッド。UMRシリーズのカタログです。
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面照射用 MS-80
＜面照射用 MS-80 カタログ＞ LEDは265、280、365、385、405nmのラインナップがあり、複数波長をミックスした光源の製作も可能です。均一度の高い光を任意の面積・形状に照射できる光源です。
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検査用 LS-HF-1.5
＜白色LED光源 LS-HF-1.5 カタログ＞ ファンレス設計により静音性に優れた検査用白色LED光源です。 発塵がなく、クリーンルーム内でのご使用に最適です。
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検査用高照度タイプ AT-50C
＜白色LED光源 カタログ＞ シンプルなデザインに調光ボリュームも付いています。 メタルハライドランプの代替品として使用できるAT-50Cのカタログです。
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標準光源 （750W）AT750
＜UVランプ光源 AT750 カタログ＞ 750Wの超高圧Hgランプを搭載し、ハイパワー、且つロングライフを両立した標準光源 AT750のカタログとなります。
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液晶周辺露光用 SF-IR54-4-406
＜UV-LED光源 SF-IR54-4-406 カタログ＞ 液晶パネルの周辺露光用のUV-LED光源 SF-IR54-4-406のカタログです。
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ウエハ周辺露光用（高出力タイプ）EW04S
＜UV-LED光源 EW04S カタログ＞ g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源 EW04Sのカタログです。高出力タイプとなります。
技術資料
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半導体製造分野 UV照射装置を見直しコスト低減を実現する
＜半導体製造分野 UV照射装置を見直しコスト低減を実現する＞ ARK TECHが刊行する無料ハンドブック「半導体製造分野 UV照射装置を見直しコスト低減を実現する」の無料ダウンロードが可能です。是非ご確認ください。
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UV照射装置の仕組みと種類
＜紫外線・光の基礎がよくわかる超ニッチな冊子 vol.3＞ ARK TECHが刊行する無料ハンドブック「UV照射装置の仕組みと種類」の無料ダウンロードが可能です。是非ご確認ください。
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UV照射装置開発による課題解決事例
＜UV照射装置開発による課題解決事例＞ ARK TECHが刊行する無料ハンドブックです。無理難題を抱えるエンジニアの皆様の 課題を解決した事例を紹介しています。是非ご確認ください。
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UV(紫外線)の基礎を学ぶ！
＜紫外線・光の基礎がよくわかる超ニッチな冊子 vol.2＞ ARK TECHが刊行する無料ハンドブック「UV（紫外線）の基礎を学ぶ」の無料ダウンロードが可能です。是非ご確認ください。
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LEDの基礎を学ぶ！
＜紫外線・光の基礎がよくわかる超ニッチな冊子 vol.1＞ ARK TECHが刊行する無料ハンドブックです。LEDの基礎を学べるハンドブックになりますので、是非ご確認ください。
