スポット照射 汎用 Awill-V

紫外線硬化型接着剤による光学部品や極小部品の接着用途に最適です。 軽量かつコンパクトとし、通信機能を備え、装置への搭載を前提として設計されたモデルとなります。 照射Headは４CH接続可能であり、更に分岐BOXを使用する事により最大16灯のLEDを点灯する事が可能となります。 ま...

ウエハ周辺露光用 EW01S

g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 新規装置への搭載はもちろん、現状ご使用のUVランプ光源からの置き換えも容易です。 UV-LED搭載により、消費電力の低減、環境負荷の低減、発光源の長寿命化、更にはメカ関係の消耗部品が一切不要になることにより、お客様の...

ウエハ周辺露光用（高出力タイプ）EW04S

g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 独自の光学設計により7,000mw/㎝²以上という高出力化を実現しました。 今まで多くの処理時間を要していた厚膜レジストの処理に最適です。 更に露光処理時間が大幅に短縮でき、ウエハ処理枚数の増大に大きく貢献します。

液晶周辺露光用 SF-IR54-4-406

液晶パネルの周辺露光用のUV-LED光源です。 従来のUVランプとライトガイドによる方式をUV-LED Head方式に変えたことで光源寿命の長期化やメンテナンス費用などの低減に大きく貢献します。

スポット照射用 LS-4C

紫外線硬化型接着剤による光学部品や極小部品の接着用途に最適です。スタンドアロンで使用することを前提に設計されたモデルとなります。 タッチパネルを採用し、非常に簡単な操作でご使用いただけます。 UV-LED Headは４CH接続可能であり、更に分岐BOXを使用する事により最大16灯...

面照射用 汎用 MS20LX-365

Φ20～30mmエリアを高強度で照射可能なUV-LED光源です。 UV-LED Headは、複数のLEDをコンパクトに取りまとめ、必要なエリアに効率よく光を照射することが可能です。 複数のUV-LED Headの接続も可能であり、タッチパネルを採用し、非常に簡単な操作でご使用いた...

半導体アライメント用 LS-1-RAL3

レチクルアライメント用の照明として使用するUV-LED光源です。 レチクルアライメント用の照明を独立、LED化することにより、高安定・長寿命の高品質な光の照射が可能となります。 本露光用のランプは本来の寿命まで使用可能となると共に消耗品である導光用の光学部品類の交換も不要となりま...

ライン照射用 LS-180

高強度の紫外線をライン状に照射するUV-LED光源です。 ライン長さや幅、波長、紫外線強度等、ご要望に合わせた光源を提供します。 LEDは265、280、365、385、405nmのラインナップがあり複数波長をミックスした光源も製作可能です。 冷却方式（空冷、水冷）にご指定がある...

面照射用 MS-80

均一度の高い光を任意の面積・形状に照射できる光源です。 独自の光学設計により均一度3％以下の照射も実現可能です。 照射エリア、波長、紫外線強度、エリア内均一度等、ご要望に合わせた光源を提供します。 LEDは265、280、365、385、405nmのラインナップがあり、複数波長を...

標準光源（250W）AT250S

250WのHg-Xeランプを搭載した標準光源となります。 露光や接着、化学反応の評価や表面処理等、幅広い用途でご使用頂けます。 弊社がこれまで培った設計技術により、業界最高レベルのコンパクト化に成功、熱電導解析シミュレーションにより高安定性と高寿命を実現しています。

標準光源 （750W）AT750

750Wの超高圧Hgランプを搭載し、ハイパワー、且つロングライフを両立した標準光源となります。 電源と照射ユニット部を一体化し、装置への設置スペースを最小限に抑えました。 ライトガイド又は直射レンズどちらでも取付可能であり、ご要望のエリアに最適な紫外線照射が可能となります。

検査用 LS-HF-1.5

ファンレス設計により静音性に優れた検査用白色LED光源です。 発塵がなく、クリーンルーム内でのご使用に最適です。 LEDを使用することにより、一般的なハロゲン光源に比べ省電力・長寿命化を実現しています。 また、R、G、B、Y、LB 等のカラーフィルターを装着することにより、今まで...

検査用スタンド型 LS-HF-W

目視検査用のスタンド型白色LED光源です。 自然放熱のため発塵がなく、クリーンルーム内での使用に最適です。 照射範囲がφ180mm(W.D=200mm)と充分な広さがあり、製品表面のキズ・汚れ・異物等の発見に効果的です。 白色光のみならず電球色（LS-HF-D）も取り揃え、目視検...

検査用高照度タイプ AT-50C

消費電力80Wで1,400,000Lx！※1 シンプルなデザインに調光ボリュームも付いています。 メタルハライドランプの代替品として使用できます。 お客様のニーズに合わせてファイバーのカスタマイズ承ります。 ※1 バンドル径φ11mm、長さ500mmのライトガイドの出射端から50...

UM365-HM

0.1mW/cm²から9999mW/cm²まで表示可能なUVモニターです。 電池またはminiUSBで給電可能です。 モニター上のライブ出力だけでなく外部アナログ出力も可能であり、日々の紫外強度の管理に最適です。 極小センサヘッドも取り揃え、装置への組み込みも可能となりました。

ロッド型UVモニター UMRシリーズ

0.1mW/cm²から9999mW/cm²まで表示可能なUVモニター(UM365-HM)に接続可能なロッド型のセンサヘッドです。

UV-ファイバー

液体露出装置

レンズ

光学フィルター