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ウエハ周辺露光用(高出力タイプ)EW04S

ウエハ周辺露光用(高出力タイプ)EW04S

g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 独自の光学設計により7,000mw/㎝²以上という高出力化を実現しました。 今まで多くの処理時間を要していた厚膜レジストの処理に最適です。 更に露光処理時間が大幅に短縮でき、ウエハ処理枚数の増大に大きく貢献します。

仕様

項目内容
使用環境温度5~40℃(結露無きこと。)
電源電圧単相 100~240V
電源周波数50/60Hz
発光ピーク波長365±5nm
光出力安定度±5%以内
初期紫外線強度2000mw/c㎡以上 (at365nm、マスクより0.5mmの距離)
強度分布の均一性10%以下(4×5mmエリア)
紫外線発光源UV-LED
紫外線発光源寿命20000時間 (推定寿命 ドライブ電流最大時) ※ 紫外線強度が初期の50%以上である点灯積算時間
照射ON/OFF機能UV-LEDのON/OFF制御 (リモート及びマニュアル制御により点灯/消灯)
光量調整機能UV-LEDの電流調整 光量調整範囲は20~100%
外装材質ステンレス
外形寸法150(W) × 200(D) × 192(H) mm

照射分布

照射分布

外観図

外観図

製品一覧

  • スポット照射 汎用 Awill-V

    スポット照射 汎用 Awill-V

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  • ウエハ周辺露光用 EW01S

    ウエハ周辺露光用 EW01S

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  • ウエハ周辺露光用(高出力タイプ)EW04S

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    g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 独自の光学設計により7,000mw/㎝²以上という高出力化を実現しました。 今まで多くの処理時間を要していた厚膜レジストの処理に最適です。 更に露光処理時間が大幅に短縮でき、ウエハ処理枚数の増大に大きく貢献します。

  • 液晶周辺露光用 SF-IR54-4-406

    液晶周辺露光用 SF-IR54-4-406

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  • スポット照射用 LS-4C

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  • 面照射用 汎用 MS20LX-365

    面照射用 汎用 MS20LX-365

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