g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。
新規装置への搭載はもちろん、現状ご使用のUVランプ光源からの置き換えも容易です。
UV-LED搭載により、消費電力の低減、環境負荷の低減、発光源の長寿命化、更にはメカ関係の消耗部品が一切不要になることにより、お客様のランニングコストの低減に大きく貢献します。
ウエハ周辺露光用 EW01S
PRODUCTS 製品情報
ウエハ周辺露光用 EW01S
仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 使用環境温度 | 5～40℃（結露無きこと。） |
| 電源電圧 | 単相 100～240V |
| 電源周波数 | 50/60Hz |
| 発光ピーク波長 | 365±5nm |
| 光出力安定度 | ±5％以内 |
| 初期紫外線強度 | 2000ｍｗ/ｃｍ2以上 （at365ｎｍ、マスクより0.5ｍｍの距離） |
| 強度分布の均一性 | 10％以下(4×5mmエリア) |
| 紫外線発光源 | UV-LED |
| 紫外線発光源寿命 | 20000時間 （推定寿命 ドライブ電流最大時）※ 紫外線強度が初期の50％以上である点灯積算時間 |
| 照射ON/OFF機能 | UV-LEDのON/OFF制御 （リモート及びマニュアル制御により点灯/消灯） |
| 光量調整機能 | UV-LEDの電流調整 光量調整範囲は20～100％ |
| 外装材質 | ステンレス |
| 外形寸法 | 150(W) × 200(D) × 192(H) ｍｍ |
照射分布
外観図
製品一覧
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スポット照射 汎用 Awill-V
紫外線硬化型接着剤による光学部品や極小部品の接着用途に最適です。 軽量かつコンパクトとし、通信機能を備え、装置への搭載を前提として設計されたモデルとなります。 照射Headは４CH接続可能であり、更に分岐BOXを使用する事により最大16灯のLEDを点灯する事が可能となります。 ま...
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ウエハ周辺露光用 EW01S
g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 新規装置への搭載はもちろん、現状ご使用のUVランプ光源からの置き換えも容易です。 UV-LED搭載により、消費電力の低減、環境負荷の低減、発光源の長寿命化、更にはメカ関係の消耗部品が一切不要になることにより、お客様の...
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ウエハ周辺露光用（高出力タイプ）EW04S
g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 独自の光学設計により7,000mw/㎝²以上という高出力化を実現しました。 今まで多くの処理時間を要していた厚膜レジストの処理に最適です。 更に露光処理時間が大幅に短縮でき、ウエハ処理枚数の増大に大きく貢献します。
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液晶周辺露光用 SF-IR54-4-406
液晶パネルの周辺露光用のUV-LED光源です。 従来のUVランプとライトガイドによる方式をUV-LED Head方式に変えたことで光源寿命の長期化やメンテナンス費用などの低減に大きく貢献します。
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スポット照射用 LS-4C
紫外線硬化型接着剤による光学部品や極小部品の接着用途に最適です。スタンドアロンで使用することを前提に設計されたモデルとなります。 タッチパネルを採用し、非常に簡単な操作でご使用いただけます。 UV-LED Headは４CH接続可能であり、更に分岐BOXを使用する事により最大16灯...
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面照射用 汎用 MS20LX-365
Φ20～30mmエリアを高強度で照射可能なUV-LED光源です。 UV-LED Headは、複数のLEDをコンパクトに取りまとめ、必要なエリアに効率よく光を照射することが可能です。 複数のUV-LED Headの接続も可能であり、タッチパネルを採用し、非常に簡単な操作でご使用いた...
