お客様の要求仕様(UV強度や波長、露光サイズ、および、露光深度等)をもとに光源の選定を行い、コストと性能面を両立させた最適な光学系の設計を行います。
①半導体用途の場合、お客様の要求仕様(処理するレジストの種類や露光精度およびスループット)をもとに光学設計とシステム設計を行います。露光するレジストの感度波長をもとにUV光源を選定(UV-LampまたはUV-LEDの選定)します。また、スループットの要求を満足するために必要とするUV強度や露光サイズを正確に把握し、最適な光学系の設計に反映させます。
②精密部品の接着用途の場合、UV硬化樹脂の硬化条件(感度波長と必要強度)をもとに、お客様の要求事項(制約された設置エリア、照射エリアと距離)に合わせた設計を行います。