お客様の要求仕様(UV強度や波長、露光サイズ、および、露光深度等)をもとに光源の選定を行い、コストと性能面を両立させた最適な光学系の設計を行います。
①半導体用途の場合、処理するレジストの種類や露光精度およびスループット等の情報をもとに光学設計とシステム設計を行います。
露光するレジストの感度波長をもとに光源を選定(UV-LampまたはUV-LEDの選定)し、ご要求のスループットを満足させるために必要なUV強度や露光サイズを正確に把握することにより、最適な光学設計を行います。
②精密部品等の接着用途の場合、UV硬化樹脂の硬化条件(感度波長と必要エネルギー)をもとに、ご要求の事項(設置スペース、照射エリアや照射距離等)に合わせた設計を行います。