液晶パネル周辺露光用 UVファイバー不要でランニングコスト低減

製品分類

UV-LED光源（SF-IR54-4-405）
装置

FPD露光装置
業界

液晶パネル製造
波長

405nm
照射エリア

54×4ｍｍ
課題

UVファイバー等消耗品の削減によるランニングコスト低減
用途

露光

お客様の課題

既設で稼働している液晶パネル製造装置について、UV照射装置（UVランプ光源）を使用していましたが、ファイバーが可動部に使用されているため、素線が断線するという問題がありました。断線により所定の光量が得られず、消耗品としてUVファイバーの交換が必要となりますが、UVファイバー自体が高額であるため、ランニングコストの面でも課題がありました。

提案・導入効果

UV（紫外線）光源装置について、UV（紫外線）ランプではなく、UV-LEDへの載せ替えを提案しました。光源をUV-LEDに変更することでUVファイバーが不要となり、ランニングコストの低減が可能になります。さらに、現状のUV（紫外線）光源装置の単純な置き換えが可能で、液晶パネル製造装置の大きな改造なく対応ができ、初期コストの低減も実現しました。

照射ヘッド
照射エリア
照度分布
シミュレーション

設計のポイント

UVファイバーとUV-LEDでは、光の角度成分が異なります。UV-LEDのNA（光角度）をUVファイバーのNAに合わせるために、レンズの曲率や枚数、発光位置と各レンズ間距離、W.Dを調節することでファイバーNAに合致させています。更にワークの品質に影響する照度分布の立ち上がり部分に重みを置いた光学設計を行っております。また、既存装置への組み込みとなるため、I/Oを解析し制御設計を行い、かつ省スペースに収まるようにメカ設計も行っています。

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