UVモニター用特注センサヘッド開発によるロングアークランプの照度測定
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製品分類
UVモニター
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装置
モールディング装置
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業界
電子デバイス製造
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波長
365nm
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照射エリア
ロングアークランプ照度測定
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課題
照度計の劣化、測定の実現
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用途
照度測定
お客様の課題
ロングアークランプのUV照度測定を行っているが、ランプの長手方向の複数箇所の照度を測定したいとのご要望と、高出力のランプを使用しているため、熱などにより照度計が急速に劣化する問題が生じているとのご相談を頂戴しました。
提案・導入効果
熱によるセンサの劣化の主な要因は、受光部とセンサが近いためUVランプから発せられる熱がダイレクトに伝わってしまう事にあります。そのため、センサ部の温度上昇を極力避けるため、受光部に石英ロッドを配置しUV光を導光することによりセンサへの熱ダメージを軽減できるため、UVモニターの長寿命化が期待できます。
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センサヘッド
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測定結果の直線性
設計のポイント
UV受光部に細長いロッドを配置した事により耐熱性もあり、ランプの長手方向の各ポイントの照度測定が容易となりました。
また、弊社UVモニター(UM365-HM)の標準センサヘッドから、業界標準のUV照度計のセンサヘッドに入れ替えて使用することも出来るため、校正済みのUV照度計とほぼ同条件でUV光のモニターが可能になりました。
課題解決事例一覧
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UVモニター用特注センサヘッド開発によるロングアークランプの照度測定
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用途
照度測定
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業界
電子デバイス製造
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装置
モールディング装置
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波長
365nm
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課題
照度計の劣化、測定の実現
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ライトガイド導光型UV-LED光源の開発でコスト削減・環境負荷低減
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
365nm
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課題
コスト削減・環境負荷低減
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Hg-Xe250Wランプ光源の代替UV光源開発
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用途
硬化・接着
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業界
電子部品製造
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装置
電子部品製造装置
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波長
254nm 365nm 405nm 436nm
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課題
販売終息の光源に関する代替品の開発
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ライトガイドの交換でタクトタイム短縮
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用途
硬化・接着
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業界
モーター製造
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装置
ブラシ付きモータ製造装置
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波長
365nm
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課題
タクトタイムの短縮
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