技術コラム/技術情報

FPD露光装置は、フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造工程で感光性レジストに紫外線を照射してフォトマスク上の回路パターンを形成する装置のことです。

FPD露光装置に搭載されているUV照射装置は、主に高出力の紫外線ランプやレーザーを使用します。紫外線の波長は、露光するレジストの特性や解像度に直接影響を与えるため、適切な波長の紫外線を選定する必要があります。

UV照射装置は、高精度な光学系やシステム制御を備えています。ディスプレイパネルの解像度や画質を高めるためには、高い光学的均一性や照射強度の安定性が求められます。また、露光時間や照射エネルギーの制御も重要であり、緻密な露光条件の設定が必要です。
さらに、ディスプレイパネルの大きさや形状に合わせた照射領域の制御ができることも求められています。

本露光と周辺露光とは

　本露光とは上述の通り、紫外線を照射してガラス基板上に回路パターンを形成する露光のことです。
一方、周辺露光は、ガラス基板の周辺部に付着した不要なレジストを除去するための手法のことです。UVランプを使用して周辺部に紫外線を照射し、現像機で処理することによって不要なレジストを除去することが出来ます。

FPD露光装置に使用される光源は、高出力で多波長の紫外線を照射することができるUVランプが主に使用されています。
また、近年では技術進化に伴い、UV-LEDを使用した光源も使用されはじめています。UV-LEDは紫外線の波長が限定されるため、レジストの選定を慎重に行う必要がありますが、角度成分や光成分を合わせることで均一な照射が可能となる上、水銀レス・小型・低消費電力・長寿命といった環境負荷を低減させる要素が多くあります。

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