技術コラム/技術情報

ステッパーとは、ステップアンドリピート方式で露光を行う投影露光装置です。露光エリアをいくつかの小区分に分割し、そのエリアを一括で露光します。露光が終わったら次のエリアに移動してまた露光を行います。このようにエリアを移動(ステップ)しつつ繰り返し(リピート)露光をするため、ステップアンドリピート方式と呼ばれています。

UV照射装置は、超高圧水銀ランプを光源として使用することが一般的です。ウエハーやガラス基板上に回路を形成する場合、パターンを形成したフォトマスクに紫外線を照射することによりレジストを塗布した基材にパターンを転写します。
露光を行うために必要な光は、高い均一度で厳密な角度制御ができ、且つ高出力な光が必要となります。その要件を満たすために数kW～数十kWの光源であるショートアークランプを使用し、楕円ミラーで集光した強力な紫外線を多くの光学部品を通してフォトマスクに照射しています。

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