05 半導体とUV
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05 半導体とUV
半導体に使用される紫外線（UV）照射装置とは
紫外線照射装置は、半導体の製造において重要な役割を果たしています。紫外線（UV）照射装置は主に、半導体ウエハーに関連して使用されます。具体的には、本露光、周辺露光、半導体ウェハーの洗浄、外観検査、UVテープの剥離などに用いられます。本記事では、そのような具体的な用途について詳しく...詳しくはこちら
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05 半導体とUV
半導体ウェハーの洗浄に紫外線（UV）オゾン洗浄装置が使用される理由
紫外線（UV）オゾン洗浄装置とは UVオゾン洗浄とは、汚染物である有機化合物の結合エネルギーより強いエネルギーの紫外線を照射することで、有機化合物の分解を行う洗浄方法のことです。 大気(酸素を含む雰囲気ガス)中にUV照射することでオゾン(O3)や励起状態の活性酸素(O...詳しくはこちら
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05 半導体とUV
半導体の微細化とUV照射技術
露光工程は半導体の微細化において不可欠な工程です。露光する際マスクを通してUV光を照射すると、マスクのパターンがレジスト上に転写されます。そのためマスクの幅を狭めれば、微細化は可能の様に思えますが、UV光も光なので回折が起きます。この回折が起こることによってマスク幅よりも広い範囲...詳しくはこちら
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05 半導体とUV
半導体ウエハとUV（紫外線）
半導体ウエハーとUV(紫外線) 半導体ウエハーとUVの関係性は、およそ1960年代に半導体ウエハーへの微細なパターン形成が求められるようになってきたことが始まりと考えられます。UVの短い波長が微細なパターン形成に適しており、UVを利用した露光技術が半導体製造において広く採用...詳しくはこちら
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ステッパーに使用されるUV照射装置について
ステッパーとは、ステップアンドリピート方式で露光を行う投影露光装置です。露光エリアをいくつかの小区分に分割し、そのエリアを一括で露光します。露光が終わったら次のエリアに移動してまた露光を行います。このようにエリアを移動(ステップ)しつつ繰り返し(リピート)露光をするため、ステップ...詳しくはこちら
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コーターデベロッパーに使用されるUV照射装置について
コーターデベロッパーとは、主に回転式のレジスト塗布装置であるコーター(スピンコーター)を用いてウェハや基板などの基材上にレジストを塗布し、現像装置であるデベロッパーで処理する際に周辺部などを露光することによって不要なレジストを除去する装置のことを指します。 コーターデベロッ...詳しくはこちら