技術コラム/技術情報

コーターデベロッパーとは、主に回転式のレジスト塗布装置であるコーター(スピンコーター)を用いてウェハや基板などの基材上にレジストを塗布し、現像装置であるデベロッパーで処理する際に周辺部などを露光することによって不要なレジストを除去する装置のことを指します。

コーターデベロッパーで使用されるUV照射装置は、基材上に塗布されたレジストを硬化させたり、溶解させたりするために使われます。レジストにはネガ型とポジ型の2種類があり、それぞれ異なる反応を起こすように設計されています。

ネガ型レジストは、紫外線を照射することで化学反応が起こり、レジストが硬化(不溶化)します。そして、レジストをデベロッパーの現像液で処理することによって、露光された箇所だけが残り、未露光箇所が除去されます。
一方、ポジ型レジストは、紫外線を照射することで化学反応が起こり、レジストが溶解(可溶化)します。そして、現像液で処理することで露光された箇所が除去され、未露光箇所が残ります。コーターデベロッパーで使用される紫外線光源の波長には、g線(436nm)、i線(365nm)、KrF(248nm)、ArF(193nm)などがあります。これらの波長は、レジストの種類や感度によって選択されます。
使用する光源については、水銀を含むUVランプが一般的です。しかし、g線(436nm)・i線(365nm)レジストに限定した場合は、環境や安全性などの観点からUV-LED光源への置き換えが進んでいます。UV-LED光源は、低消費電力・高寿命・低発熱などの利点があり、従来の水銀を含むUVランプに比べてエコで安全性にも優れています。

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