ライトガイド導光型UV-LED光源の開発でコスト削減・環境負荷低減
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製品分類
UV-LED光源
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装置
コータデベロッパ
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業界
半導体製造
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波長
365nm
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照射エリア
お客様のスループットに合わせたスクエア領域
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課題
コスト削減・環境負荷低減
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用途
露光
お客様の課題
既設機に搭載されているUVランプ光源を、製造コストの低減と環境負荷軽減の点からUV-LED光源で代替したいとのご要望を頂戴しました。また、光源装置を載せ替えるだけの対応とし、照射ヘッド・ファイバーをはじめ既存装置の大きな改造なく対応することで、投資対効果を最大化したいというご要望も頂戴しました。
提案・導入効果
お客様の既存装置は、露光照射部がライトガイドを使用した可動式になっていました。弊社の周辺露光用UV-LED光源は、露光ヘッド部の重量に配慮して固定式としています。現状の可動部に弊社の露光ヘッドを設置することは、多くの問題点が想定されるため、既設のライトガイドに弊社設計の光学系を配置し複数のUV-LEDの光を効率よく入射させる方式を提案し、お客様から受諾されました。 光学系以外に光源装置のリモートI/Oも既設の上位装置との互換性を維持するように設計し、光源装置の単純載せ替えとすることができました。 UV-LEDは、UVランプと比較すると発光源としての交換時期の長期化や電力の省力化が格段に向上するため、製造コストの低減に寄与します。また、既存の光学系に合わせた光源開発をしたので投資費用を軽減し、設備投資の回収期間の短期にも効果があります。
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ライトガイド
設計のポイント
弊社の周辺露光用UV-LED光源装置は、照射ヘッド部の重量に配慮し固定して設置する仕様（ワークに対して直射方式）となっています。ライトガイドにUV-LEDの光を入射させることは、光の使用効率性からすると直射方式対比で良好とはいえません。しかしながら、既設装置として照射ヘッド部の可動は、必須条件となるためライトガイドの使用を選択しました。本ケースのポイントは、発光源の特性を的確に捉え、既設のライトガイドに効率よくUV-LEDの光を入射させる光学系を開発することができたこと。また、上位装置間とのI/Oの互換性も維持できたため、既設装置としての操作も現状維持ができたこととなります。
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課題解決事例一覧
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UVモニター用特注センサヘッド開発によるロングアークランプの照度測定
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用途
露光
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波長
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365nm
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