レチクル用光源の搭載でアライメントエラー回避

製品分類

UV-LED光源（LS-1-RAL3）
装置

ステッパー
業界

半導体製造
波長

365nm 430nm
照射エリア

-
課題

アライメントエラー回避
用途

露光

お客様の課題

既設のステッパーにおいて、レチクルの位置合わせ用のUV照射が行われていました。従来は、本露光用の光からUVファイバーを利用して光を取り込み、レチクルの位置合わせ用照明として使用していましたが、本露光用ランプの劣化により光量がたりなくなり、アライメントエラーが起きた場合に、装置の稼働が停止してしまうという問題がありました。そこで、レチクル用のUV（紫外線）照射装置を新規で設置し、上記課題を解決したいとご要望を頂戴しました。

提案・導入効果

レチクル用の位置合せ用UV照射装置として、従来はUVランプを使用していましたが、UV-LEDを光源として使用することを提案しました。UV-LEDを用いることで、UVランプと比較し、長寿命化が実現できるためランニングコストの低減が可能になります。

照射ヘッド
シミュレーション
照度分布
照射エリア

設計のポイント

既存の光源装置は、装置内の所定の位置にUV光を導光するために光ファイバーを使用しています。そのため、UV-LEDの光を効率よく光ファイバーに入射させる技術が必要になります。既存装置の光学システムに適合する光源装置を設計したことでお客様の導入コストを低減することができました。また、UV-LEDの特長（小型軽量、長寿命）を活かし、光源装置を簡素化したことで既存装置に設置する現場作業も容易にすることができました。

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