0.1mW/cm²から9999mW/cm²まで表示可能なUVモニター(UM365-HM)に接続可能なロッド型のセンサヘッドです。
ロッド型UVモニター UMRシリーズ
PRODUCTS 製品情報
仕様
| 項目 | 内容 |
|---|---|
| 測定主波長 | 365nm |
| 測定範囲 | Hレンジ 0～9999mW/cm² Lレンジ 0.0～999.9mＷ/cm² |
外観図
その他特長
■特長
・耐熱性
高圧水銀ランプやメタルハライドランプなどの高温下でも紫外強度の測定が可能。
・利便性
スペース的に照度計が設置できない場所や、今まで手が届かなかった狭小部での紫外強度の測定が可能。(ロッドの長さは600mm程度まで対応可能)
・正確性
ロングアークランプやライン型LED光源なども、ロッドをスライドすることにより各ポイントでの紫外強度の測定が可能。
・拡張性
UM365-HM標準のセンサヘッドの他に、業界標準のUV照度計(測定部)を組み込んで使用することも可能。
※その他UV照度計もカスタム対応で組み込みが可能な場合もあります。
※UM365-HMは、お客様でご使用中のUVメーターとの表示値に合わせて使用するものです。本製品の指示値はあくまでもモニター値であり、UV出力の絶対値を保証するものではありません。
製品一覧
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スポット照射 汎用 Awill-V
紫外線硬化型接着剤による光学部品や極小部品の接着用途に最適です。 軽量かつコンパクトとし、通信機能を備え、装置への搭載を前提として設計されたモデルとなります。 照射Headは４CH接続可能であり、更に分岐BOXを使用する事により最大16灯のLEDを点灯する事が可能となります。 ま...
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ウエハ周辺露光用 EW01S
g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 新規装置への搭載はもちろん、現状ご使用のUVランプ光源からの置き換えも容易です。 UV-LED搭載により、消費電力の低減、環境負荷の低減、発光源の長寿命化、更にはメカ関係の消耗部品が一切不要になることにより、お客様の...
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ウエハ周辺露光用（高出力タイプ）EW04S
g線、i線レジスト対応ウエハ周辺露光用のUV-LED光源です。 独自の光学設計により7,000mw/㎝²以上という高出力化を実現しました。 今まで多くの処理時間を要していた厚膜レジストの処理に最適です。 更に露光処理時間が大幅に短縮でき、ウエハ処理枚数の増大に大きく貢献します。
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液晶周辺露光用 SF-IR54-4-406
液晶パネルの周辺露光用のUV-LED光源です。 従来のUVランプとライトガイドによる方式をUV-LED Head方式に変えたことで光源寿命の長期化やメンテナンス費用などの低減に大きく貢献します。
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スポット照射用 LS-4C
紫外線硬化型接着剤による光学部品や極小部品の接着用途に最適です。スタンドアロンで使用することを前提に設計されたモデルとなります。 タッチパネルを採用し、非常に簡単な操作でご使用いただけます。 UV-LED Headは４CH接続可能であり、更に分岐BOXを使用する事により最大16灯...
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面照射用 汎用 MS20LX-365
Φ20～30mmエリアを高強度で照射可能なUV-LED光源です。 UV-LED Headは、複数のLEDをコンパクトに取りまとめ、必要なエリアに効率よく光を照射することが可能です。 複数のUV-LED Headの接続も可能であり、タッチパネルを採用し、非常に簡単な操作でご使用いた...
