ウエハ周辺露光用光源の置き換えでコスト30％以上削減
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製品分類
UV-LED光源（EW04-S）
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装置
コータデベロッパ
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業界
半導体製造
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波長
365nm
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照射エリア
4×2.5mm 4×5mm 5×10mm
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課題
初期コストとランニングコスト削減
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用途
露光
お客様の課題
既設のコータデベロッパについて、紫外線光源が老朽化して、本来の周辺露光性能が得られないという問題がありました。コータデベロッパ自体の入れ替えを検討されていましたが入れ替えコストが高く、また紫外線光源装置以外は問題なく使用できることから、コータデベロッパの延命化をしたいとのご要望がありました。
提案・導入効果
UV（紫外線）光源装置について、従来式は水銀を含む放電灯（UVランプ）でしたが、稼働・保全コストと環境性能に優れるUV（紫外線）LEDに代替することを提案しました。
従来のUVランプに置き換える場合と比較し、初期コストが30％以上削減でき、さらに光源の交換頻度を1/30程度に抑えることができました。
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光学シミュレーション
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照射分布
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照射エリア
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分光特性
設計のポイント
コントローラと照射ヘッドの双方を開発しています。 照射ヘッド光学系では、既存紫外線光源と同等のNA(光角度)、照度を得るための光学設計を行っております。シミュレーションよりワークへの必要総光量を算出すると、LEDは複数個必要であることが判明しました。LEDの数が増えるとワーク面で光のムラが発生してしまうため、特殊な光学レンズを採用することで均一化を図ることに成功しております。 形状については、既存装置へ取り付けられるよう、コントローラ、照射ヘッド形状を設計しております。
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課題解決事例一覧
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UVモニター用特注センサヘッド開発によるロングアークランプの照度測定
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用途
照度測定
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業界
電子デバイス製造
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装置
モールディング装置
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波長
365nm
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課題
照度計の劣化、測定の実現
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ライトガイド導光型UV-LED光源の開発でコスト削減・環境負荷低減
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用途
露光
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業界
半導体製造
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装置
コータデベロッパ
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波長
365nm
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課題
コスト削減・環境負荷低減
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Hg-Xe250Wランプ光源の代替UV光源開発
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用途
硬化・接着
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業界
電子部品製造
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装置
電子部品製造装置
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波長
254nm 365nm 405nm 436nm
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課題
販売終息の光源に関する代替品の開発
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ライトガイドの交換でタクトタイム短縮
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用途
硬化・接着
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業界
モーター製造
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装置
ブラシ付きモータ製造装置
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波長
365nm
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課題
タクトタイムの短縮
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