04 紫外線(UV)照射装置の基礎
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04 紫外線(UV)照射装置の基礎
FPD露光装置に使用されるUV照射装置について
FPD露光装置は、フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造工程で感光性レジストに紫外線を照射してフォトマスク上の回路パターンを形成する装置のことです。 FPD露光装置に搭載されているUV照射装置は、主に高出力の紫外線ランプやレーザーを使用します。紫外線の波長は、露光するレ...詳しくはこちら
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04 紫外線(UV)照射装置の基礎
UVオゾン洗浄装置の仕組み
UVオゾン洗浄とは UVオゾン洗浄とは、汚染物である有機化合物の結合エネルギーより強いエネルギーの紫外線を照射することで有機化合物の分解を行います。同時に大気(酸素を含む雰囲気ガス)中にUV照射することでオゾン(O3)や励起状態の活性酸素(O)が生成されます。非常に強力な酸...詳しくはこちら
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04 紫外線(UV)照射装置の基礎
紫外線(UV)照射装置の種類
弊社の取り扱う UV照射装置は、搭載する発光源で分けた場合、UVランプ照射装置とUV-LED照射装置に分類することができます。UVランプは、石英ガラス管内に発生させた金属蒸気（弊社で扱うランプは、主に水銀）内で放電することで紫外線を発光するもので放電灯とも呼ばれています。一般的に...詳しくはこちら