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CMOSイメージセンサーのフォトリソグラフィ用紫外線照射装置

CMOSイメージセンサーのフォトリソグラフィ用紫外線照射装置
波長
用途 フォトリソグラフィ
業界 半導体
搭載する装置 フォトリソグラフィ用装置

CMOSイメージセンサーのフォトリソグラフィにも紫外線照射装置は使用されています。

紫外線照射装置は、フォトレジストを感光させ、特定のパターンを転写するために使用されます。より短い波長ほど、より高い解像度で微細なパターンを形成できます。