CMOSイメージセンサーのフォトリソグラフィ用紫外線照射装置

波長 | |
---|---|
用途 | フォトリソグラフィ |
業界 | 半導体 |
搭載する装置 | フォトリソグラフィ用装置 |
CMOSイメージセンサーのフォトリソグラフィにも紫外線照射装置は使用されています。
紫外線照射装置は、フォトレジストを感光させ、特定のパターンを転写するために使用されます。より短い波長ほど、より高い解像度で微細なパターンを形成できます。
紫外線照射装置、UV-LED、UV Lampの技術情報サイト
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用途 | フォトリソグラフィ |
業界 | 半導体 |
搭載する装置 | フォトリソグラフィ用装置 |
CMOSイメージセンサーのフォトリソグラフィにも紫外線照射装置は使用されています。
紫外線照射装置は、フォトレジストを感光させ、特定のパターンを転写するために使用されます。より短い波長ほど、より高い解像度で微細なパターンを形成できます。
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