ステッパー用紫外線(UV)照射装置
| 波長 | 365nm 405nm |
|---|---|
| 用途 | 位置合わせ用照明 |
| 業界 | 半導体製造 |
| 搭載する装置 | ステッパー |
ステッパーとは、半導体・液晶製造ラインで使用される投影露光装置です。ステップアンドリピート方式で露光を行い、本露光用とレチクル位置合わせ用としてUV（紫外線）照射装置が使用されています。
一般的には、本露光の光源としてUVランプが使用され、その光源からファイバーでUV光を導光させレチクルの位置合わせ用の照明として兼用されています。
レチクル位置合わせ用のUV（紫外線）照射装置では、照射範囲・照射の均一性等、光成分を合わせることでUV-LEDを光源とすることも可能です。後付けでレチクルの位置合わせ専用のUV‐LED照明用装置を搭載し、本露光用のUVランプと分離する事により、本露光用UVランプの延命化、および照明用光源の長寿命化等、ランニングコストの低減が可能となります。
