紫外線照射装置、UV-LED、UV Lampの技術情報サイト

ダイシングテープ剥離用UV照射装置

ダイシングテープ剥離用UV照射装置
波長 365nm
用途 易剥離
業界 半導体
搭載する装置 ダイシングマシン

半導体製造ラインにおいて、半導体ウエハのダイシング工程でテープを剥離するために、UV照射装置が用いられています。

UVテープを剥離する際に使用するUVの波長は365nmが一般的で、水銀ランプやメタルハライドランプ、UV-LED、ブラックライトなどが光源として使用されています。

>>「半導体ウエハとUV」について、詳しくはこちら!