MEMS露光装置用紫外線(UV)照射装置
| 波長 | 254nm,365nm |
|---|---|
| 用途 | 露光 |
| 業界 | 半導体製造 |
| 搭載する装置 | MEMS露光装置 |
MEMSとはMicro Electro Mechanical Systemsの略で、シリコン基板・ガラス基板・有機材料などにセンサ・アクチュエータ・電子回路等をまとめて、多様な機能を集積化したデバイスのことを言います。
MEMS製造には一般的な半導体製造用露光装置ではなく、三次元の微細構造体を製作できるMEMS用露光装置が必要となります。その露光装置にUV光源装置が用いられています。
MEMS用露光装置の光源については、水銀ランプを用いるのが一般的であり、多くの場合、254nm,365nmの波長が使用されます。
