|
|
| 年月 |
概要 |
| 2005年 |
・光エネルギーの最先端利用を目指す同志が、群馬県前橋市に、ARK TECH株式会社を創業
・放電灯型UV光源用のUVランプ(水銀キセノン、キセノン、超高圧水銀ランプ)の量産開始
・半導体ウエハ「周辺露光用UV-LED光源」の特許出願
・UVランプ量産ロットの販売開始 |
| 2006年 |
・中小企業新事業活動促進法に基づく、「経営革新計画」承認
・UVモニター(自社開発製品の簡易型UV測定器)をリリース
・半導体ウエハ「周辺露光用UV-LED光源」の韓国への特許出願
・国内最小のUV接着剤硬化用 UV-LED光源「85Cubeシリーズ」をリリース |
| 2007年 |
・半導体ウエハ「周辺露光用UV-LED光源」試作機製作(2006/06群馬県R&Dサポート事業、採択) →半導体製造メーカー及び半導体製造装置メーカーで性能評価中
・UV接着剤硬化用 UV-LED光源のOEM製品納入開始 |
| 2008年 |
・半導体ウエハ周辺露光用UV-LED光源がユーザの生産ラインに導入され、本格稼働開始
・UV-LED光源 85Cubeに続き、新製品LOCEPをリリース |
|