UV-LEDを利用したUV-LED光源 紫外線ランプを利用した紫外線光源の設計・製造・販売 ARK TECH株式会社  アークテック

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沿革
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年月 概要
2005年 ・光エネルギーの最先端利用を目指す同志が、群馬県前橋市に、ARK TECH株式会社を創業

・放電灯型UV光源用のUVランプ(水銀キセノン、キセノン、超高圧水銀ランプ)の量産開始

・半導体ウエハ「周辺露光用UV-LED光源」の特許出願

・UVランプ量産ロットの販売開始
2006年 ・中小企業新事業活動促進法に基づく、「経営革新計画」承認

・UVモニター(自社開発製品の簡易型UV測定器)をリリース

・半導体ウエハ「周辺露光用UV-LED光源」の韓国への特許出願

・国内最小のUV接着剤硬化用 UV-LED光源「85Cubeシリーズ」をリリース
2007年 ・半導体ウエハ「周辺露光用UV-LED光源」試作機製作(2006/06群馬県R&Dサポート事業、採択)
→半導体製造メーカー及び半導体製造装置メーカーで性能評価中

・UV接着剤硬化用 UV-LED光源のOEM製品納入開始
2008年 ・半導体ウエハ周辺露光用UV-LED光源がユーザの生産ラインに導入され、本格稼働開始

・UV-LED光源 85Cubeに続き、新製品LOCEPをリリース
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